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中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997

级别

        指标 

EW-I

EW-II

电阻率MΩ.cm25℃

18以上(95%时间)不低于17

1595%时间)不低于13

µg/l

2

10

>1µM微粒数/ml

0.1

5

细菌个数/ml

0.01

0.1

µg/l

0.2

1

µg/l

0.2

1

µg/l

0.1

1

µg/l

0.5

2

µg/l

0.5

2

µg/l

1

1

硝酸根µg/l

1

1

磷酸根µg/l

1

1

硫酸根µg/l

1

1

总有机碳µg/l

20

100

 
 
 
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