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电子级超纯水标准(GB/T11446.1997)下载
发表时间:2018-12-01 22:57作者:萧兴旺

电子级超纯水标准

Electronic grade waterGB/T11446.1997)

电子级水的技术指标应符合表2.1的规定。

2.1、电子级水的技术指标



      级别

指标


中华人民共和国电子级水国家标准(GB/T11446.1997

ASTM电子级水

(E-I)标准

(1993)

EW-I

EW-II

EW-III

EW-IV

设计参考值


电阻率

MΩNaN(25)

18以上

(95%时间)

不低于17

15

(95%时间)不低于13

12.0

0.5

10以上

(95%时间)

不低于5

18以上(90%时间)不低于

17

全硅,最大μg/L

2

10

50

1000

20.0

5(SIO2)

>1μm微粒数,

最大值,/mL

0.1

5

10

500

10

0.1

细菌个数,

最大值个/ mL

0.01

0.1

10

100

<10

1/1000

铜最大值, μg/L

0.2

1

2

500

2

1

锌最大值, μg/L

0.2

1

5

500

5

0.5

镍最大值, μg/L

0.1

1

2

500

2

0.1

钠最大值, μg/L

0.5

2

5

1000

5

0.5

钾最大值, μg/L

0.5

2

5

500

5

2

氯最大值, μg/L

1

1

10

1000

10

1

硝酸根,

最大值, μg/L

1

1

5

500

5

1

磷酸根,

最大值, μg/L

1

1

5

500

5

1

硫酸根,

最大值, μg/L

1

1

5

500

5

1

总有机碳,

最大值, μg/L

20

100

200

1000

200

1

细菌内毒素

(E.U.)






0.03


备注:电阻率为在线检测值;

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附件有水质标准下载

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